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壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái)，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保了掃描臺(tái)優(yōu)秀的運(yùn)動(dòng)精度。
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