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蔡司XENOS 0.3μm三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

簡(jiǎn)要描述:蔡司XENOS 0.3μm三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的長(zhǎng)度測(cè)量誤差竟達(dá)到0.3微米

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-01-13
  • 訪  問  量:84

詳細(xì)介紹

用于實(shí)現(xiàn)至高精度的測(cè)量機(jī)

ZEISS XENOS

蔡司XENOS 0.3μm三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

ZEISS XENOS介紹

XENOS可在各類要求高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用--從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測(cè)量范圍近1立方米。

虛擬中央驅(qū)動(dòng)

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),得益于蔡司的中央驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動(dòng)力。

作為控制系統(tǒng)及算法結(jié)合,這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。

例如,測(cè)針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測(cè)量精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見另一優(yōu)勢(shì):測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)越出色的精準(zhǔn)性。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測(cè)量機(jī)器上得到使用。

與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時(shí)減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

蔡司XENOS 0.3μm三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

蔡司XENOS 0.3μm三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

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